中國的各種真空泵，目前發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統無(wú)法滿(mǎn)足清潔無(wú)油的耐腐蝕的要求。因此，近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大，真空泵已經(jīng)出現更新?lián)Q代的局面，大量的有油真空系統已經(jīng)越來(lái)越多的被無(wú)油清潔的真空系統所代替。

干式螺桿真空泵圖片

第一，2018年的干式螺桿真空泵現狀

國外幾乎每一家較大的真空泵公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、結構簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(cháng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)占據市場(chǎng)，但其制造技術(shù)大部分為國外掌握，我國尚處于起步階段，市場(chǎng)對于干式泵有迫切的需求。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設備。日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線(xiàn)并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設備公司也逐步開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線(xiàn)，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。

螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問(wèn)題

干式螺桿泵的結構：螺桿真空泵結構主要由螺桿轉子、殼體、冷卻循環(huán)和密封材料構成。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉子的旋轉，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑。軸承和殼體內部通過(guò)密封件來(lái)密封以達到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類(lèi)似。一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進(jìn)氣側通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機，用連軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者鏈傳動(dòng)。

等螺距螺桿泵由于無(wú)內壓縮過(guò)程，排氣溫度非常高(110度左右)，如果冷卻效果不好，會(huì )造成轉子和機殼變形，影響抽泣效果，所以冷卻機殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節，水冷是最常見(jiàn)的方法。在機殼本體，軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉子的目的。萊寶公司在轉子內部通水冷卻，增加轉子壽命，并達到很好的冷卻效果。但是該種結構設計(兩段式)，需要一定的技術(shù)及加工水平支撐。

用水冷有時(shí)不能達到冷卻效果，因而通常在靠近排氣端轉子附近通冷卻氣體(多為氮氣)?，F在國外的主流螺桿真空泵都采用這種方法。這種方法有幾個(gè)好處：第一，能冷卻轉子的機殼，降低排氣溫度;第二，當氣體內含有顆粒物時(shí)，能防止顆粒物沉積或者發(fā)生化學(xué)反應引起爆炸。

第二、國內外主要生產(chǎn)公司概況

(1)塔海爾公司的KDP、SDV系列螺桿真空泵。塔海爾公司收購了凱尼真空公司。凱尼是美國歷史上最悠久的從事真空獲得設備的專(zhuān)業(yè)制造公司，在螺桿真空泵制造方面也是處于世界領(lǐng)先地位。KDP系列為等螺距轉子的真空泵，SDV為變螺距螺桿泵，二者均為水冷系統，風(fēng)冷系統可選擇。SDV是在KDP基礎上進(jìn)行的改進(jìn)，變螺距螺桿泵能實(shí)現氣體內部壓縮，使排氣溫度降低，同比等螺距節能30%。在轉子上采用NiFlon涂層，即第一層為Ni，第二層為PFA。即使PFA磨損了，Ni層也能實(shí)現防腐蝕，同時(shí)采用Kalrez全氟化橡膠密封圈。SDV系列是凱尼公司主推的螺桿真空泵。

(2)德國萊寶公司在2002年底正式推出的SREWTINE系列螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應用(非半導體應用)設計的干式泵，它是一種全新的設計，是專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應用中艱苦的真空問(wèn)題。如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉子，有內壓縮過(guò)程，泵腔內沒(méi)有內部閥門(mén)，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內部中空冷卻，可以降低轉子溫度和熱變形，因此螺桿壽命延長(cháng)。

(3)德國普旭公司的COBRAN系列螺桿泵，是制造工藝最理想的真空泵，特別適用于化工和制藥行業(yè)的各工藝流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓風(fēng)機和壓縮機的供應商之一，真空泵的質(zhì)量較高，相比其他廠(chǎng)家，在歐洲市場(chǎng)占有率極高，價(jià)格偏貴。

(4)德國里奇樂(lè )的VSA/VSB系列。VSA為等螺距轉子，市場(chǎng)評價(jià)較好，性能穩定。VSB系列事變螺距轉子設計(非線(xiàn)型齒形設計)，同其他幾家一樣，通過(guò)內壓縮來(lái)改變泵的功耗和排氣溫度，不用兩級壓縮中間冷卻，單級即可實(shí)現很高的真空度。在密封件上作了改進(jìn)，靜態(tài)密封元件優(yōu)選PTFE或者添加有PTFE的密封件，動(dòng)態(tài)密封元件在真空泵吸入側用雙密封唇，真空泵排氣側用簡(jiǎn)單的帶有防止氣體外溢的密封圈，以防固體物質(zhì)進(jìn)入泵內。

(5)日本的幾個(gè)生產(chǎn)商。日本是應用螺桿真空泵非常多的國家，半導體和LCD行業(yè)應用廣泛，大晃株式會(huì )社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉子方面申請了專(zhuān)利，在轉子上作了深入的研究。日立公司早期也作過(guò)螺桿泵方面的研究。

研究瞻望：干式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段，很多技術(shù)難題還沒(méi)有解決。比如轉子涂層防腐蝕技術(shù)，降低排氣口的溫度，增大轉子面積利用率等問(wèn)題仍然很棘手，當抽取一些活潑氣體時(shí)，由于排氣溫度高，安全性也是需要設計中考慮的，用在需要控制音量的場(chǎng)合，如何降噪也要成為研究方向，但其優(yōu)越的性能決定了它一定會(huì )在真空獲得設備行業(yè)占主導地位，就像現在螺桿壓縮機在行業(yè)內的統治地位一樣。

第三、煙臺沃爾姆干式螺桿真空泵，朔造國產(chǎn)干式螺桿泵品牌

煙臺沃爾姆真空技術(shù)有限公司，1998年-1999年創(chuàng )業(yè)煙臺福山地區的生產(chǎn)加工真空泵廠(chǎng)家，主要以生產(chǎn)水環(huán)泵為主。(參考：煙臺沃爾姆的發(fā)展歷程) 2002年，擴大規模才正式注冊為現在的公司名稱(chēng)，2006年再次擴大規模建立了新廠(chǎng)區。公司實(shí)力雄厚，隨著(zhù)規模逐漸擴大，生產(chǎn)的水環(huán)泵質(zhì)量過(guò)硬，良好的口碑和信譽(yù)深得廣大新老客戶(hù)的信賴(lài)，也慢慢的成就了沃爾姆品牌。2009年，開(kāi)始生產(chǎn)羅茨泵。2012年，干式螺桿真空泵開(kāi)始投放市場(chǎng)。公司非?？粗馗杀玫奈磥?lái)前景，加大力度對干式螺桿泵的研發(fā)。目前已經(jīng)獲得了多項專(zhuān)利。(參考：煙臺沃爾姆的榮譽(yù)資質(zhì))目前，干式螺桿真空泵方面的技術(shù)，相比較同行而言，已經(jīng)是很成熟的，這些年來(lái)經(jīng)驗也是越來(lái)越豐富了，逐漸的朔造國產(chǎn)干式螺桿泵品牌。煙臺沃爾姆聯(lián)系電話(huà)：0535-2135735 ，歡迎全國各地的新老客戶(hù)來(lái)廠(chǎng)考察參觀(guān)、技術(shù)交流、合作洽談!

2018年8月23-25日，已參加了在上海新國際博覽中心舉辦的CPVF 2018第十屆上海國際化工泵、閥門(mén)及展覽會(huì )，展會(huì )舉辦的很成功，得到了同行和廣大新老客戶(hù)的認可。

2018年6月20-22日,在上海新國際博覽中心舉辦的“第十八屆世界制藥原料中國展”，煙臺沃爾姆將會(huì )攜帶著(zhù)我們的干式螺桿真空泵和螺桿羅茨機組亮相，歡迎各方新老客戶(hù)蒞臨參觀(guān)!

總結：干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品，主要應用于高純凈的真空工藝過(guò)程 , 真空度極高，可適應惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別適 宜于 潔凈環(huán)境，且易做防腐處理，特別適用于電 子，化工，生物醫藥，金屬加工，食品加工等領(lǐng)域。隨著(zhù)越來(lái)越多的企業(yè)中，正在使用的真空泵，逐漸被干式螺桿真空泵所替代。在各行各業(yè)的真空泵應用領(lǐng)域里，干式螺桿泵逐漸占據霸主地位。未來(lái)的真空泵前景，無(wú)疑會(huì )是進(jìn)入干泵時(shí)代。

參考源資料：

干式螺桿真空泵 百度百科

知乎 https://www.zhihu.com/question/266026256